清洗惠家蒸汽奶泡机的步骤如下：

1. 断电：确保蒸汽奶泡机处于断电状态，避免发生任何意外。

2. 拆卸：将蒸汽奶泡机上的可拆卸部件取下，包括奶泡头、咖啡过滤器等。根据产品说明书，按照指引进行拆卸过程。

3. 清洗奶泡头：用温水清洗奶泡头，可以使用软毛刷或海绵轻轻刷洗，彻底清除奶渍和奶渍残留物。

4. 清洗水箱：将水箱中的残余水倒掉，用温水和中性洗涤剂清洗水箱，确保彻底清洗干净。

5. 漂洗：用清水将所有可拆卸部件进行彻底漂洗，确保没有任何清洁剂残留。

6. 水箱内部清洁：用中性洗涤剂和软毛刷清洗水箱内部，确保没有污垢残留。

7. 擦拭干燥：用干净的柔软布擦干所有部件，确保彻底干燥。

8. 安装：将所有清洗好的部件按照正确的顺序重新安装到蒸汽奶泡机上。

9. 点亮：将蒸汽奶泡机接通电源，确保一切正常。

请注意，以上步骤仅供参考，具体清洗方式可能因产品型号和说明而有所不同。在清洗前请务必仔细阅读产品说明书，并遵循制造商提供的清洁建议和警示。